GW28半导体行业用压力表
用于半导体集成工艺
即使在半导体高纯体、腐蚀性体氛等条件下也能表现出优异的性能。
该压力表在制造时充分考虑了密性和清洁度,特别适用于半导体工艺等高纯度流体。
认证标准:
特征
・由于是直径为φ28的小直径型,因此有助于节省一体安装空间。
-体接触部分是比传统的C形波登管更简单的隔膜式,因此
具有易于清洁和体冲洗的结构。 ・体接触部的内容积约为以往产品(小型波登管型)的1/2,大幅减少了
体滞留的死角(体接触部的体积) 。 *选择压力表时, 请选择压力范围,使正常压力的上限在以下范围内,以确保充分发挥性能。 定压时:压力范围值的3/4以下 变动压力时:压力范围值的2/3以下 另外,请确认与体接触的部件的材质。请与待测流体兼容。 详情请参阅JIS B 7505-1。