Novec™ 7200工业用化学液
· 清洁用的化学液
Novec ™ 7200的沸点为76°C,其溶解力适用于相去污、湿式清洁和晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)的净化。此化学液能的低表面张力,可清洁轻型的脏污,像是微颗粒物质、氟素油、少量的油污和氟素高分子。Novec ™ 7200也可以跟其它溶剂搭配,用于清洁重脏污。 Novec ™ 7200不会破坏臭氧层(ODP值=零),且全球暖化潜值低 (GWP=55),大存留时间短(ALT=0.77年)。且不被列为挥发性有机化合物(volatile organic compound ,VOC)。Novec ™ 7200 是被美国环境保护局认同的显著新替代方案(U.S. EPA's Significant New Alternatives Policy (SNAP) program)。
· 沉积用的溶剂
Novec ™ 7200其低黏稠度及低表面张力的特性,提供了此化学液高润湿性与易流动的性能,其产品表现与PF-5060DL很类似。能有效的分解全氟聚醚(PFPE)润滑剂。 Novec ™ 7200 性,不会破坏臭氧层(ODP值=零),且全球暖化潜值低 (GWP=55),大存留时间短(ALT=0.77年)。 Novec ™ 7200具有较高的沸点(76°C),可减少在相去污中,蒸的损失。较低密度可减少在润滑机台上容积固定时的添加量。
· 热传导的化学液
Novec ™ 7200的液态范围很寛广,温度从 -138°C到76°C,可广泛的适用于一般的工业。特别适用于热传导的制程。 Novec ™ 7200毒性低,不会破坏臭氧层(ODP值=零),且全球暖化潜值低 (GWP=55 ),大存留时间短(ALT=0.77年)。比 PFC 更环保。