退火炉常见故障及故障排查方法

　　退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。

　　可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

　　退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

　　退火炉常见故障及故障排查方法

　　一、 换向阀与切断阀部分

　　故障出现后，监控主画面上方会出现报警提示，根据提示内容可初步判定故障设备，报警具体如下：V101阀位报警、V105阀位报警、加热段煤气换向报警、加热段空气换向报警、保温段煤气换向报警、保温段空气换向报警。其中，V101阀即加热段煤气快切阀，V105阀即保温段煤气快切阀。每一设备由动作部分和阀位反馈部分组成。动作部分由电磁阀带气动元件发生动作。

　　故障排查：出现上述报警后，首先查看报警设备在监控主画面上显示的颜色，确定其状态。

　　若快切阀显示为黄色，换向阀显示为红色“X”，即是行程不到位，检查行程是否脱离设备，若无脱离，可打开行程开关，检查行程内凸轮是否出现不到位情况，适当调整使之最大弧度处压上弹簧片即可。

　　若快切阀或换向阀显示为红色或绿色之一，可判定其行程正常，排查重点在动作部分。检查动作部分时，先于现场观察电磁阀两插头是否有一个亮灯，若两个都不亮，则为电气故障。然后，若有一个亮，可把两插头取下，用亮的插头在两个电磁阀插座上轮流插拔试验，若汽缸不动作，则为机械故障。若汽缸动作，则为电气故障。

　　二、 调节阀部分

　　调节阀可参考其关联温度判断设备是否工作正常。若出现故障，先关闭电源控制柜内其工作电源，打开现场阀盖，在确认阀内模块不带电的情况下，用内六方扳手旋转阀体。若旋转感觉很卡，则为机械故障，若感觉旋转顺畅，则为电气故障。

　　三、 模拟量部分

　　此处模拟量指温度、压力和流量等。除空气总管压力和煤气总管压力外，其余模拟量不参与控制。

　　以上为退火炉常见故障初步排查方法，仅适用于现场操作人员。